微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)產(chǎn)業(yè)集中了當(dāng)今科學(xué)技術(shù)發(fā)展的許多尖端成果，涉及多種學(xué)科和工程技術(shù)，具有體積小、重量輕、功耗低、價(jià)格低、集成度高、可批量制造等優(yōu)點(diǎn)。在生活當(dāng)中，MEMS傳感器已經(jīng)在智能手機(jī)、智能家居、汽車(chē)中廣泛應(yīng)用，例如手機(jī)上的硅麥克風(fēng)、慣性傳感器、電子羅盤(pán)、高度計(jì)等，汽車(chē)上的溫度、壓力、位置、轉(zhuǎn)速、加速度和振動(dòng)等傳感器件。隨著物聯(lián)網(wǎng)、智能家居、人工智能、智慧醫(yī)療等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，MEMS傳感器產(chǎn)品作為智能感知時(shí)代的重要硬件基礎(chǔ)，前景無(wú)限。今年，國(guó)家工業(yè)和信息化部下發(fā)意見(jiàn)函，中國(guó)工程院組織遴選的MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化等16個(gè)項(xiàng)目，擬作為《中國(guó)制造2025》2017年重大標(biāo)志性。

　　【MEMS器件陣列(如圖，中央的正方體組件)】

　　據(jù)統(tǒng)計(jì)，2016年MEMS市場(chǎng)規(guī)模約114億美元，其中，國(guó)內(nèi)需求規(guī)模約42億美元，占比36.8%。目前，國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈總體偏弱，尤其是制造環(huán)節(jié)，而且國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)品門(mén)類(lèi)依然相對(duì)較少，主要還是以慣性器件和壓力傳感器為主，且多是中低端產(chǎn)品，創(chuàng)新性強(qiáng)的新器件、新系統(tǒng)鮮有出現(xiàn)，導(dǎo)致市場(chǎng)存在著巨大的供需矛盾，大部分需求只能依賴(lài)于進(jìn)口。

　　為了更深入的了解國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展?fàn)顩r，近日，今日智造的記者走訪(fǎng)了華東MEMS集群地，也是全球最大的納米技術(shù)應(yīng)用綜合社區(qū)——蘇州納米城，采訪(fǎng)了蘇州納米城開(kāi)發(fā)實(shí)體蘇州納米科技發(fā)展有限公司董事長(zhǎng)兼總裁張希軍。

　　采訪(fǎng)中張總告訴記者，蘇州納米城MEMS產(chǎn)業(yè)鏈體系的構(gòu)建，是站在整個(gè)產(chǎn)業(yè)格局立場(chǎng)，立足行業(yè)發(fā)展，根據(jù)自身資源、結(jié)合國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)發(fā)展?fàn)顩r做了一系列舉措，為MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供良好的土壤，以促進(jìn)MEMS產(chǎn)業(yè)資源集聚和發(fā)展。

　　那么，蘇州納米城MEMS產(chǎn)業(yè)鏈的搭建是從哪些方面切實(shí)解決行業(yè)內(nèi)存在的諸多問(wèn)題呢?

　　【建立中試平臺(tái)】

　　國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)最薄弱的環(huán)節(jié)在生產(chǎn)制造，而產(chǎn)品從實(shí)驗(yàn)室走向市場(chǎng)化過(guò)程中，研發(fā)與批量化之間缺乏銜接。為此，蘇州納米城早在成立之初就建成了國(guó)內(nèi)首個(gè)全開(kāi)放、市場(chǎng)化運(yùn)作的MEMS加工平臺(tái)，填補(bǔ)了產(chǎn)品概念驗(yàn)證與規(guī)模代工廠(chǎng)之間的中試空白，平臺(tái)完全按照f(shuō)oundry模式建立，體系化管理，從根本上解決了中小MEMS設(shè)計(jì)企業(yè)產(chǎn)品化上的最大難題。

　　經(jīng)過(guò)近4年的深耕，平臺(tái)具備了完整的工藝庫(kù)及各種器件工藝匹配能力。截止目前，已服客戶(hù)近30家，累計(jì)支撐客戶(hù)完成近85顆MEMS芯片開(kāi)發(fā)生產(chǎn)，涉足領(lǐng)域廣泛，不僅有市場(chǎng)化程度很高的消費(fèi)類(lèi)及汽車(chē)電子產(chǎn)品，例如硅麥克風(fēng)、壓力、氣體、溫度、流量計(jì)等，也有代表前沿技術(shù)或是具備市場(chǎng)增長(zhǎng)潛質(zhì)的工業(yè)類(lèi)及通訊類(lèi)產(chǎn)品，例如微鏡、噴墨頭、非制冷紅外、氣體、RF-MEMS等。同時(shí)，平臺(tái)在較短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)了多個(gè)硅麥克風(fēng)及微鏡項(xiàng)目量產(chǎn)，助力客戶(hù)將產(chǎn)品快速打入市場(chǎng)的同時(shí)，也為平臺(tái)的良好發(fā)展奠定了基礎(chǔ)。至2017年11月平臺(tái)月產(chǎn)已突破千片規(guī)模，成為國(guó)內(nèi)最快實(shí)現(xiàn)此指標(biāo)的MEMS代工企業(yè)之一，后續(xù)平臺(tái)將把穩(wěn)定交付作為發(fā)展的重心。

　　【成立行業(yè)協(xié)會(huì)】

　　為了更好的推動(dòng)中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，創(chuàng)建企業(yè)展示自身發(fā)展的科技平臺(tái)，蘇州納米與國(guó)內(nèi)40多家MEMS行業(yè)龍頭企業(yè)、頂級(jí)科研院所、知名高校共同成立“中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)”。協(xié)會(huì)旨在構(gòu)建MEMS設(shè)計(jì)、研發(fā)、加工制造、封裝測(cè)試等全產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動(dòng)關(guān)系，實(shí)現(xiàn)以MEMS產(chǎn)品為主線(xiàn)的產(chǎn)業(yè)資源垂直整合，推動(dòng)我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的人才集聚、技術(shù)創(chuàng)新、成果轉(zhuǎn)化。協(xié)會(huì)發(fā)展至今已匯聚產(chǎn)業(yè)鏈上、下游會(huì)員單位逾350家。

　　MEMS分會(huì)成立三年以來(lái)從事了一系列全國(guó)性產(chǎn)業(yè)扶持工作，帶動(dòng)了和推動(dòng)了全國(guó)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。MEMS分會(huì)配合工信部連續(xù)多年從事MEMS行業(yè)職業(yè)技術(shù)培訓(xùn)，培訓(xùn)總計(jì)超過(guò)500人次，為行業(yè)輸送了大量二次培育的專(zhuān)精人才，具備MEMS培訓(xùn)工作基礎(chǔ)及一定的學(xué)員基礎(chǔ)。自MEMS分會(huì)成立以來(lái)，積極開(kāi)展多層次的技術(shù)和市場(chǎng)的交流合作，對(duì)國(guó)內(nèi)各省市地區(qū)MEMS企業(yè)詳細(xì)梳理，收集整理年度產(chǎn)值數(shù)據(jù)，完成多份產(chǎn)業(yè)報(bào)告并舉辦多場(chǎng)全國(guó)性論壇并參與行業(yè)展覽，不斷增加協(xié)會(huì)粘性。

　　【產(chǎn)業(yè)專(zhuān)利導(dǎo)航】

　　深耕細(xì)作MEMS產(chǎn)業(yè)專(zhuān)利導(dǎo)航，協(xié)助開(kāi)展區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃，推動(dòng)專(zhuān)利優(yōu)勢(shì)轉(zhuǎn)化成為產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)。蘇州納米城順利創(chuàng)建全國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)專(zhuān)利導(dǎo)航綜合服務(wù)平臺(tái)，以MEMS產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域?yàn)橥黄瓶?，推?dòng)MEMS專(zhuān)利分析和預(yù)警研究，為企業(yè)提供MEMS專(zhuān)利檢索分析等綜合服務(wù)，開(kāi)展MEMS產(chǎn)業(yè)共性技術(shù)、關(guān)鍵環(huán)節(jié)專(zhuān)利收儲(chǔ)，為5家重點(diǎn)MEMS企業(yè)實(shí)施專(zhuān)利微導(dǎo)航項(xiàng)目。協(xié)助完成《蘇州工業(yè)園區(qū)專(zhuān)利導(dǎo)航納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)(MEMS方向)創(chuàng)新發(fā)展規(guī)劃》，積極促成《蘇州工業(yè)園區(qū)關(guān)于促進(jìn)微納電子機(jī)械系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展實(shí)施細(xì)則(試行)》政策的出臺(tái)，讓中小MEMS企業(yè)享受更多的政策紅利。

　　【引進(jìn)人才培訓(xùn)體系】

　　人才發(fā)展推動(dòng)企業(yè)發(fā)展，產(chǎn)業(yè)交流依托技術(shù)創(chuàng)新。蘇州納米從市場(chǎng)發(fā)展需求出發(fā)，引進(jìn)“人才培訓(xùn)體系”，聚焦MEMS產(chǎn)業(yè)需求，面向全國(guó)組織產(chǎn)業(yè)技術(shù)人才培訓(xùn)、組織高端創(chuàng)新資源交流論壇，吸引了包括園區(qū)在內(nèi)多地企業(yè)、機(jī)構(gòu)人員參加，累計(jì)達(dá)1000人次。針對(duì)國(guó)內(nèi)高校與產(chǎn)業(yè)存在的脫節(jié)問(wèn)題，對(duì)口培養(yǎng)實(shí)用型人才，提高技術(shù)人員的實(shí)操能力，以努力達(dá)到產(chǎn)業(yè)要求，確保行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力。

　　蘇州納米城，作為拓展國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)的先行者，為推動(dòng)國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展不余遺力。目前區(qū)域內(nèi)MEMS企業(yè)已超過(guò)30家，涵蓋了設(shè)計(jì)、制造、封裝、應(yīng)用整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)，今日智造記者相信，隨著蘇州納米城的壯大和發(fā)展，將為中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展做出更大的貢獻(xiàn)，有蘇州納米城這樣的平臺(tái)體系支撐，本土MEMS企業(yè)將櫛風(fēng)沐雨，砥礪前行，共同創(chuàng)造中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)的大未來(lái)!