物聯(lián)網(wǎng)(The Internet of things)的定義是：通過射頻識別(RFID)、紅外感應(yīng)器、全球定位系統(tǒng)、激光掃描器等信息傳感設(shè)備，按約定的協(xié)議，把任何物品與互聯(lián)網(wǎng)連接起來，進行信息交換和通訊，以實現(xiàn)智能化識別、定位、跟蹤、監(jiān)控和管理的一種網(wǎng)絡(luò)。

　　物聯(lián)網(wǎng)傳感器早已滲透到諸如工業(yè)生產(chǎn)、工業(yè)、汽車、養(yǎng)老、醫(yī)療、智能家居、宇宙開發(fā)、海洋探測、環(huán)境保護、資源調(diào)查、醫(yī)學(xué)診斷、生物工程、農(nóng)業(yè)、信息、國防和科學(xué)發(fā)展甚至文物保護等等極其之泛的領(lǐng)域。

　　傳感器應(yīng)用領(lǐng)域

　　傳感器處于整個物聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)的最底層，即感知層，是物聯(lián)網(wǎng)的核心技術(shù)與根基。萬物互聯(lián)時代的到來，傳感器越來越多地被應(yīng)用到社會發(fā)展及人類生活的各個領(lǐng)域。

　　傳感器行業(yè)將朝著更加微型化、集成化、智能化、柔性化的方向發(fā)展。

　　發(fā)展傳感器要解決規(guī)模化生產(chǎn)，聲音、氣敏、力敏、磁敏、光敏、RFID等六大類傳感器都具備產(chǎn)業(yè)化基礎(chǔ),其中的基礎(chǔ)核心技術(shù)就是MEMS工藝和無線網(wǎng)絡(luò)化技術(shù)。

　　微機電系統(tǒng)（MEMS）

　　MEMS 的定義與種類

　　MEMS 是英文 Micro Electro Mechanical Systems 的縮寫，即微電子機械 系統(tǒng)，是利用微米/納米技術(shù)基礎(chǔ)，對微米/納米材料進行設(shè)計、加工、制造、測 量和控制的 21 世紀(jì)前沿技術(shù)。

　　它將機械構(gòu)件、光學(xué)系統(tǒng)、驅(qū)動部件、電控系統(tǒng) 集成為一個整體單元，不僅能夠采集、處理與發(fā)送信息或指令，還能夠按照所獲 取的信息采取行動。

　　MEMS微機電系統(tǒng)

　　物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的大規(guī)模、低成本、無人值守、環(huán)境復(fù)雜、電池供電等外界環(huán)境條件下要求MEMS 傳感器具備以下優(yōu)勢：

　　1) 微型化和集成化：

　　幾何尺寸小，易于集成。采用微加工技術(shù)可制造出微米尺寸

　　的傳感和敏感元件，并形成二維或三維的傳感器陣列，再加上一體化集成的大規(guī)

　　模集成電路，最終器件尺寸一般為毫米級。

　　2) 低能耗和低成本：

　　采用一體化技術(shù)，能耗大大降低;并由于采用硅微加工技術(shù)

　　和半導(dǎo)體集成電路工藝，易于實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)，成本低。

　　3) 高精度和長壽命：

　　于采用集成化形式，傳感器性能均勻，各元件間配置協(xié)調(diào)，

　　匹配良好，不需校正調(diào)整，提高了可靠性。

　　4) 動態(tài)性好：

　　微型化、質(zhì)量小、響應(yīng)速度快、固有頻率高，具有優(yōu)異動態(tài)特性。

　　5) 抗干擾和靈活性： 能抗電磁輻射、雷電、強磁場、高濕度、障礙物等惡劣環(huán)境。傳感器節(jié)點在物聯(lián)網(wǎng)中應(yīng)用時，節(jié)點通過一系列的軟硬件標(biāo)準(zhǔn)，能實現(xiàn)組網(wǎng)應(yīng)用的靈活編程要求。

    MEMS傳感器已經(jīng)在我們每天使用的各類設(shè)備上數(shù)以百萬計地使用著。

　　例如：

　　智能家居： MEMS傳感器集成在各種智能家用電器及智能硬件用品中，提供了安防、語音、紅外、溫濕度等各種便利性體驗中

　　智能手機： MEMS傳感器提供在聲音性能、場景切換、手勢識別、方向定位、以及溫度/壓力/濕度傳感器等廣泛的應(yīng)用;

　　汽車： MEMS傳感器借助氣囊碰撞傳感器、胎壓監(jiān)測系統(tǒng)(TPMS)和車輛穩(wěn)定性控制增強車輛的性能。

　　醫(yī)療領(lǐng)域 ：通過MEMS傳感器研成功制出微型胰島素注射泵，并使心臟搭橋移植和人工細(xì)胞組織成為現(xiàn)實中可實際使用的治療方式;

　　可穿戴設(shè)備： MEMS傳感器可實現(xiàn)運動追蹤、心跳速率測量等。

　　城市建設(shè)： MEMS傳感器可以協(xié)助監(jiān)測基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)的穩(wěn)定性，營造充滿活力的反饋系統(tǒng)。

　　MEMS 技術(shù)屬于多學(xué)科交叉的前沿性領(lǐng)域，當(dāng)與不同學(xué)科領(lǐng)域結(jié)合時，如電 子技術(shù)、機械技術(shù)、物理學(xué)、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)等，便產(chǎn)生 新型的 MEMS 器件。

　　MEMS 主要包含六大類器件：

　　(1) 微傳感器：

　　所測量的參數(shù)包括：加速度、壓力、力、觸覺、流量、磁場、

　　溫度、氣體成分、濕度、pH 值、離子濃度和生物濃度等等。主要包括機械類、

　　磁學(xué)類、熱學(xué)類、化學(xué)類、生物學(xué)類等，每一類中又包含有很多種。例如機械類

　　中又包括力學(xué)、力矩、加速度、速度、角速度(陀螺)、位置、流量傳感器等，化

　　學(xué)類中又包括氣體成分、濕度、PH 值和離子濃度傳感器等。

　　(2) 微執(zhí)行器：

　　主要包括微馬達、微齒輪、微泵、微閥門、微開關(guān)、微噴射

　　器、微揚聲器、微諧振器等。

　　(3) 微型構(gòu)件：

　　三維微型構(gòu)件主要包括微膜、微梁、微探針、微齒輪、微彈

　　簧、微腔、微溝道、微錐體、微軸、微連桿等。

　　(4) 微機械光學(xué)器件：

　　微光學(xué)器件主要有微鏡陣列、微光掃描器、微光閥、

　　微斬光器、微干涉儀、微光開關(guān)、微可變焦透鏡、微外腔激光器、光編碼器等。

　　(5) 真空微電子器件：

　　它是微電子技術(shù)、MEMS 技術(shù)和真空電子學(xué)發(fā)展的產(chǎn)

　　物，基于真空電子輸運器件的新技術(shù)，采用已有的微細(xì)加工工藝在芯片上制造集

　　成化的微型真空電子管或真空集成電路。具有極快的開關(guān)速度、非常好的抗輻照

　　能力和極佳的溫度特性。真空微電子器件主要包括場發(fā)射顯示器、場發(fā)射照明器

　　件、真空微電子毫米波器件、真空微電子傳感器等。

　　(6) 電力電子器件：

　　主要包括利用 MEMS 技術(shù)制作的垂直導(dǎo)電型 MOS(VMOS)

　　器件、V 型槽垂直導(dǎo)電型 MOS(VVMOS)器件等各類高壓大電流器件。

　　簡單列舉幾家MEMS傳感器代表品牌：

　　BOSCH

　　博世MEMS傳感器主要用于可穿戴設(shè)備、物聯(lián)網(wǎng)等新應(yīng)用。主要產(chǎn)品：專業(yè)級健康類傳感器解決方案BHV250和BHV160、智能三軸加速度計BMA422和BMA455、高性能陀螺儀BMG250和BMG280、可定制編程的9軸運動傳感器BMF055。

　　ST micro electronics（意法半導(dǎo)體）

　　傳感器產(chǎn)品包括MEMS(微機電傳感器，包括加速度計、陀螺儀、數(shù)字羅盤、慣性模塊、壓力傳感器、濕度傳感器和麥克風(fēng))、智能傳感器、Sensor Hub、溫度傳感器和觸摸傳感器。

　　Texas Instruments（德州儀器）

　　霍爾效應(yīng)磁傳感器、單芯片MEMS溫度傳感器、壓力傳感器、指紋傳感器、光傳感器等，在基于移動反射數(shù)字光處理設(shè)備的MEMS銷售方面表現(xiàn)頗佳。

　　Avago Technologies（安華高）

　　產(chǎn)品組合廣泛多樣，在以下四個主要目標(biāo)市場中擁有約6500種產(chǎn)品，即：無線通信、有線基礎(chǔ)設(shè)施、工業(yè)和汽車電子產(chǎn)品以及消費品與計算機外圍設(shè)備。

　　Knowles Electronics（樓氏電子）

　　是先進的微聲設(shè)備、特種組件以及移動通訊、消費電子、醫(yī)療科技、軍事/空間和其它工業(yè)終端市場的人機界面解決方案的市場領(lǐng)導(dǎo)者和全球供應(yīng)商。提供精確可靠的產(chǎn)品，包括助聽器元件、MEMs(微機電系統(tǒng))麥克風(fēng)、揚聲器、受話器、傳感器、電容器、振蕩器等。

　　Goer Tek(歌爾聲學(xué))

　　主營業(yè)務(wù)為聲電器件、光電器件、電子配件及整機類電子產(chǎn)品等的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于智能手機、平板電腦、可穿戴設(shè)備等智能移動終端產(chǎn)品及智能家居、汽車電子等領(lǐng)域，主要為3C領(lǐng)域全球頂級廠商提供軟硬件產(chǎn)品與服務(wù)。

　　其他更多MEMS傳感器品牌如Freescale、InvenSense、等暫不一一詳細(xì)介紹了。